瑞士丹青FL-800是一款超高精度CNC型直線度檢測(cè)儀，具有直線度測(cè)量精度與穩(wěn)定性，可作為直線度測(cè)量基準(zhǔn)，對(duì)長(zhǎng)度≤800mm的被測(cè)件開展超高精度的直線度測(cè)量與表面微觀輪廓趨勢(shì)的觀察。整機(jī)為龍門式結(jié)構(gòu)，由高精度手工研磨導(dǎo)軌、高精度氣浮軸承、高穩(wěn)定性真空吸附滑臺(tái)、高精度測(cè)量模組與專業(yè)直線度測(cè)量軟件組成。設(shè)備導(dǎo)軌采用特殊涂層，可同時(shí)保證測(cè)量穩(wěn)定性、耐磨性與導(dǎo)軌表面硬度，特別適用于半導(dǎo)體加工行業(yè)。